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    以避免轴承座10与工艺腔碰撞导致传送组件精度下降。为进一步提高传动筒4的稳定性，北京制造半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务，避免外界物质进入轴承座10，推荐地，如图3、图4所示，工艺盘组件还包括密封衬套5，密封衬套5环绕设置在传动筒4的外壁上。需要说明的是，密封衬套5与轴承座之间为固定连接关系，如图4所示，推荐地，密封衬套5的内壁上还设置有用于容纳密封圈的密封圈槽，在传动筒4转动时，与轴承座固定连接的密封衬套5持续地与传动筒4摩擦。为提高密封衬套5的耐磨性能，推荐地，密封衬套5为不锈钢材料。在实验研究中，发明人还发现，现有的半导体设备工艺效果不佳的原因在于，个别轴套类部件上的密封件在传动机构的运动过程中会逐渐沿轴向移动，偏离预定位置，造成半导体设备的气密性下降。为解决上述技术问题，推荐地，如图3、图4、图13所示，工艺盘组件还包括挡环7，传动筒4的外壁上形成有挡环槽43，挡环7环绕传动筒4设置在挡环槽43中，挡环7的外径大于密封衬套5朝向工艺盘01一端的内径，以使得密封衬套5无法沿轴向运动通过挡环槽43所在的位置。在本实用新型的实施例中，北京制造半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务，传动筒4的外壁上形成有挡环槽43，并在挡环槽43中设置挡环7，从而可以阻止密封衬套5轴向偏离，北京制造半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务，进而避免了避免外界物质进入轴承座10。通过范围更多的产品，来实现解决方案，来成本节约，并可保证使用安全性。北京制造半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务

    驱动轴3通过非圆柱体的驱动连接部310与异形孔之间的配合将扭矩传递至驱动衬套2，从而能够在工艺盘组件进行变速运动时，避免驱动轴3与驱动衬套2之间发生相对滑动，保证了驱动衬套2与驱动轴3之间的对位精度，进而提高了工艺盘转轴1旋转角度的控制精度。为实现驱动衬套2与工艺盘转轴1的匹配，同时提高驱动衬套2与工艺盘转轴1之间的对位精度，推荐地，如图5至图12所示，驱动衬套2的外壁上形成有至少一个定位凸起222，对应的，安装孔的侧壁上形成有至少一个定位槽，定位凸起222一一对应地插入定位槽中。如图11、图12所示为本实用新型的实施例中驱动衬套2插入工艺盘转轴1的底端安装孔时，定位凸起222插入定位槽中的过程示意图。在本实施例中，驱动衬套2通过定位凸起222与定位槽之间的配合，将驱动轴3的扭矩传递至工艺盘转轴1，从而在工艺盘组件需要进行启动或急停等变速运动时，能够避免驱动衬套2与工艺盘转轴1之间发生相对滑动，保证了驱动衬套2与工艺盘转轴1之间的对位精度，进而提高了工件的放置精度。为降低工艺成本，推荐地，如图11所示，定位槽轴向延伸至工艺盘转轴1的底端。在本实用新型的实施例中，定位槽直接与工艺盘转轴1的底端连通，从而在加工定位槽和定位凸起222时。天津PC半导体与电子工程塑料零件定制加工密度半导体行业就是这样一种需要CNC加工部件的行业。

    工艺盘组件还包括轴承座10，传动筒4的外凸台结构42设置在轴承座10内，且传动筒4的两端设置在轴承座10外；外凸台与轴承座10的内壁之间设置有前述的轴承，使得传动筒4能够绕轴线相对轴承座10旋转；为便于安装，如图3所示，轴承座10可以包括上法兰101和下法兰102，上法兰101和下法兰102上均形成有轴孔，传动筒4朝向工艺盘01的一端穿过上法兰101上的轴孔，传动筒4背离工艺盘01的一端穿过下法兰102上的轴孔。为保证定位传动筒4的轴向定位，避免传动筒4在转动时晃动，推荐地，上述滚针轴承为推力滚针轴承，且位于外凸台结构42背离工艺盘01一侧的推力滚针轴承与下法兰102之间还设置有碟形弹簧。在传动筒4安装至轴承座10中时，传动筒4的两端分别穿过上法兰101和下法兰102上的轴孔，在上法兰101和下法兰102通过固定连接件(如螺栓)连接在一起的同时，推力滚针轴承分别被压紧贴合在外凸台结构42的上下两面，并由碟形弹簧维持推力滚针轴承上的轴向压力，从而保证定位传动筒4的轴向定位。推荐地，如图3所示，上法兰101和下法兰102在上述轴孔处均设置有环绕传动筒4的油封，以避免轴承座10中的润滑液逸出或外界物质进入轴承座10中对造成传动件的腐蚀、磨损。推荐地，如图1、图2所示。

    半导体是1种介于导电与不导电之间的1种材料，是可用来制作半导体器件以及集成电路的材料。在现在社会中半导体材料的利用很***，下面小编简单介绍下半导体材料的利用吧。半导体材料的利用不同的半导体器件对于半导体材料有不同的形态请求，包含单晶的切片、磨片、抛光片、薄膜等。半导体材料的不同形态请求对于应不同的工艺。经常使用的半导体材料工艺有提纯、单晶的以及薄膜外延生长。半导体材料所有的半导体材料都需要对于原料进行提纯，请求的纯度在六个“九”以上，**高达一一个“九”以上。提纯的法子分两大类，1类是不扭转材料的化学组成进行提纯，称为物理提纯;另外一类是把元素先变为化合物进行提纯，再将提纯后的化合物还原成元素，称为化学提纯。物理提纯的法子有真空蒸发、区域精制、拉晶提纯等，使用至多的是区域精制。化学提纯的主要法子有电解、络合、萃取、精馏等，使用至多的是精馏。因为每一1种法子都有必定的局限性，因而常使用几种提纯法子相结合的工艺流程以取得合格的材料。绝大多数半导体器件是在单晶片或者以单晶片为衬底的外延片上作出的。成批量的半导体单晶都是用熔体生长法制成的。直拉法利用**广。CMP环材料的制造商，包括Techtron? PPS（CMP应用）。

    本实用新型涉及半导体设备领域，具体地，涉及一种半导体设备中的工艺盘组件，以及一种包括该工艺盘组件的半导体设备。背景技术：半导体设备通常由工艺腔和设置在工艺腔内的工艺盘组成，工艺盘用于承载待加工的工件，工件与工艺腔中通入的工艺气体发生化学反应或者由工艺气体形成沉积物沉积在工件表面，完成晶片的外延等半导体工艺。为了保证工艺盘上热量的均匀性，通常采用电机等设备驱动工艺盘旋转，目前的工艺盘驱动机构通常包括滑动轴、衬套和石英转轴。其中，石英转轴用于驱动工艺盘旋转，衬套套设在滑动轴上，石英转轴套设在衬套上，且滑动轴、衬套和石英转轴三者轴线重合，衬套通过贴合面之间的摩擦作用将滑动轴的扭矩传递至石英转轴上。然而，基于这种结构目前的半导体设备经常出现工件放偏、工艺效果不佳、工艺盘旋转卡顿等问题。技术实现要素：本实用新型旨在提供一种用于半导体设备的工艺盘组件，该工艺盘组件能够解决上述技术问题中的至少一者。为实现上述目的，作为本实用新型的***个方面，提供一种半导体设备中的工艺盘组件，包括工艺盘和工艺盘转轴，所述工艺盘转轴用于驱动所述工艺盘旋转，所述工艺盘组件还包括驱动轴和驱动衬套。***的材料选择、工程支持和测试能力。天津PC半导体与电子工程塑料零件定制加工密度

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    *需考虑二者侧面的平整度以及二者宽度的匹配程度，无需对二者的轴向长度进行过于精确的加工，从而降低了工艺成本。为简化驱动轴3的制造工艺，推荐地，如图5所示，驱动连接部310的侧面包括至少一个定位平面311，以使得驱动连接部310的横截面为非圆形。在本实用新型的实施例中，通过在驱动连接部310的侧面加工出至少一个定位平面311来形成非圆形的横截面，简化了驱动轴3的结构和制造工艺，降低了驱动轴3的制造成本。为提高驱动轴3和驱动衬套2上应力分布的均匀性，推荐地，如图5所示，驱动连接部310的侧面包括两个定位平面311，驱动连接部310的侧面还包括两个圆柱面312，两个定位平面311平行设置，两个圆柱面312分别连接两个定位平面311的两侧边，以形成驱动连接部310的完整侧面。需要说明的是，在本推荐实施方式中，驱动连接部310在加工前为圆柱体，定位平面311直接在圆柱体的侧面切割得到，未被切割到的即是图5中所示的圆柱面312。本实用新型的发明人发现，使用*由多个平面构成的异形孔进行传动时，棱线处容易产生较高的应力，导致驱动轴3和驱动衬套2的使用寿命下降。因此，本实用新型的实施例中设置两圆柱面312衔接在定位平面311之间。北京制造半导体与电子工程塑料零件定制加工24小时服务